化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理,。

技術(shù)特征
可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)尺寸，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求,；
采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,，溫度均勻性好；
采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,，密封效果好,，抗污染能力強(qiáng)；
采用多通道沉積氣路,，流場(chǎng)均勻,，無(wú)沉積死角，沉積效果好,；
對(duì)炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油,、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理,。

主要配置
爐門：鉸鏈回轉(zhuǎn)式/臺(tái)車平移式,；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊      
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC   
加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì),；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥,；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)    
真空泵和真空計(jì)：進(jìn)口/國(guó)產(chǎn) 
人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)     
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國(guó)歐陸   
熱電偶：C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/N分度號(hào)
記錄儀：無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)   
電器元件：正泰/施耐德/西門子
料車：滾道式/叉車式/疊加式超長(zhǎng)傳輸料車

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