無錫吉致電子25年研發(fā)生產(chǎn)——碳化硅晶圓拋光液/硅襯底SIC拋光液/半導(dǎo)體拋光液/CMP化學(xué)機(jī)械拋光液/硅襯底拋光液/slurry拋光液

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:為電力電子器件及LED用碳化硅晶片的CMP化學(xué)機(jī)械平坦化配制的拋光液.CMP拋光液大大提高了碳化硅晶圓表面去除率和平坦化性能,提供了非常好的表面光潔度

吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液使用方法:

1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進(jìn)行5-20倍稀釋.

2.稀釋后,粗拋時(shí)調(diào)節(jié)PH11左右,精拋時(shí)調(diào)節(jié)左右.pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸,、醋酸,、檸檬酸,、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤?

3.循環(huán)拋光可以用原液.

吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液儲(chǔ)存方法:

1.貯存時(shí)應(yīng)避免曝曬,貯存溫度為5-35℃

2.低于0℃以上儲(chǔ)存,防止結(jié)冰,在無度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效.

3.避免敞口長(zhǎng)期與空氣接觸.

吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液價(jià)格:

吉致電子的碳化硅晶圓拋光液生產(chǎn)技術(shù)是引進(jìn)國(guó)外生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備,特殊化學(xué)配方制備而成.吉致電子拋光液品質(zhì)可以媲美進(jìn)口同類產(chǎn)品.

本土化生產(chǎn)使得吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品交貨周期快,品質(zhì)好,拋光液價(jià)格親民.

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