隨著半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)規(guī)模擴(kuò)大和技術(shù)升級，噴涂廢氣處理設(shè)備其在各行業(yè)發(fā)揮著越來越重要的作用,。近幾年，半導(dǎo)體工業(yè)迅猛發(fā)展,，合資、獨(dú)資建成投產(chǎn)十幾條生產(chǎn)線,。由于在集成電路生產(chǎn)過程要求在高潔凈度廠房進(jìn)行,，但生產(chǎn)工藝中需要使用有機(jī)和無機(jī)化學(xué)藥品，所以,，通風(fēng)排氣對于生產(chǎn)十分重要,。我國半導(dǎo)體工業(yè)起步較晚，所以相應(yīng)的廢氣凈化技術(shù)比較落后,，一般在引進(jìn)生產(chǎn)線的同時(shí)引進(jìn)廢氣凈化設(shè)施,，投資及運(yùn)行成本很高，如何消化吸收國外先進(jìn)的廢氣凈化工藝,，選擇合適的工藝保證穩(wěn)定生產(chǎn)和達(dá)標(biāo),，對于新建和改擴(kuò)建廢氣處理系統(tǒng)非常重要。
汽車涂裝是油漆消耗的大戶,，由于成本和技術(shù)的-,，我國汽車涂裝大部分使用電泳底漆+有機(jī)溶劑型漆。VOC有機(jī)廢氣處理以生產(chǎn)一輛小型轎車為例,，消耗陰極電泳底漆10kg以上,，有機(jī)溶劑型油漆(中涂、面漆,、罩光漆等)5kg以上,，商用車如卡車、客車等用量更大,。電泳底漆烘干過程中產(chǎn)生大量具有刺激性惡臭氣味的油煙,、有機(jī)溶劑型油漆噴漆及烘干過程中揮發(fā)的溶劑均為有機(jī)成分。在汽車涂裝過程中,，除少量漆膜(占油漆總重量的40%以下)附著在車身表面外,，其它有機(jī)成分均揮發(fā)于空氣中形成有機(jī)廢氣。以年產(chǎn)800萬輛汽車,，車均用漆15kg,，固化后成分占噴漆總量40%計(jì)算，每年有機(jī)成分排放量為7.2萬t,，汽車涂裝有掃L廢氣的排放己經(jīng)成為一個(gè)突出的環(huán)境問題,。
噴涂廢氣處理設(shè)備有機(jī)廢氣對環(huán)境的危害甚大。人如果長期吸入低濃度的有機(jī)廢氣會引發(fā)咳嗽,、胸悶,、氣喘甚至肺氣腫等慢性呼吸道疾病，油漆溶劑中的甲醛、苯類化合物等成分是目前公認(rèn)的強(qiáng)烈致癌物,。除此之外,，有機(jī)廢氣對光化學(xué)煙霧、酸雨的形成起著非常重要的作用,。由于有機(jī)廢氣的危害性,，我國對有機(jī)廢氣的排放一直有著嚴(yán)格的控制，現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)為1997年1月1日實(shí)施的GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(以下簡稱《標(biāo)準(zhǔn)》),。
UV光氧催化設(shè)備一般是通過將有機(jī)廢氣中的有機(jī)成分和空氣中的氧氣反應(yīng)發(fā)生分解,，一些低毒的化合物(如鹵代烴和氧氣反應(yīng)后可以產(chǎn)后鹵酸)。常溫下廢氣中的有機(jī)成分和氧氣小反應(yīng),，在廢氣處理設(shè)備的高溫,、催化等條件下，廢氣中的有機(jī)成分發(fā)生分解從而使廢氣得到凈化,。
半導(dǎo)體生產(chǎn)可分為擴(kuò)散工序和組裝兩大工序也稱前工序和后工序,。UV光氧催化設(shè)備在前工序的有機(jī)剝離、涂布,、光刻等工藝環(huán)節(jié)產(chǎn)生大量的有機(jī)廢氣,，為了使污染物達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)，一期工程引進(jìn)了日本生產(chǎn)的兩臺有機(jī)廢氣處理塔及配套的廢液焚燒爐,，使用過程中發(fā)現(xiàn)設(shè)備運(yùn)行成本高,。在擴(kuò)建工程中，經(jīng)過對各種有機(jī)廢氣處理方法及設(shè)備工作的原理分析,，動力消耗,、處理成本比較，選擇了北京中航銀燕環(huán)保技術(shù)發(fā)展中心制造的固定床式活性炭有機(jī)廢氣處理塔,，節(jié)省投資160萬元人民幣,，一年的使用和廢氣排放監(jiān)測證明，VOC有機(jī)廢氣處理設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定,，處理效果達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn),，并且節(jié)約了運(yùn)行費(fèi)用30萬元，經(jīng)濟(jì)效益顯著,，同時(shí)為今后擴(kuò)建廢氣處理工程積累了寶貴經(jīng)驗(yàn),。
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