超精密定位技術(shù)是 精密機(jī)械與精密儀器中的關(guān)鍵技術(shù)，無論大行程的精密定位,，還是 小范圍內(nèi)的對準(zhǔn),，都離不開精密定位技術(shù)，超精密定位系統(tǒng)包括超精密位移機(jī)構(gòu),、檢測裝置與控制系統(tǒng)3部分,。超精密位移機(jī)構(gòu)使工作臺(tái)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)，檢測裝置進(jìn)行運(yùn)動(dòng)信息的采集和反饋,，控制器通過反饋信息與目標(biāo)信息進(jìn)行比較產(chǎn)生控制信號,，控制超精密位移機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。三維超精密定位系統(tǒng)與一維定位控制系統(tǒng)相同,，由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),、執(zhí)行機(jī)構(gòu)、測量傳感機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)組成,，三維系統(tǒng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)和傳感機(jī)構(gòu)可以通過使用一維直線定位系統(tǒng)進(jìn)行3個(gè)方向的疊加而成,，或通過-藕合結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)，也就是 說三維定位系統(tǒng)中會(huì)出現(xiàn)3套或多套執(zhí)行機(jī)構(gòu)和傳感機(jī)構(gòu),，如何控制他們 共同工作達(dá)到精確定位,，實(shí)現(xiàn)3軸聯(lián)動(dòng)是 該系統(tǒng)的一個(gè)主要問題。因此,，在選擇系統(tǒng)的位移執(zhí)行機(jī)構(gòu),、傳感機(jī)構(gòu)時(shí)完全可以參考現(xiàn)在已有的納米級二維工作臺(tái)和直線定位系統(tǒng)所采用的方案，而控制方法和控制器的選擇則要考慮 選擇適合控制多被控對象的復(fù)雜系統(tǒng)并能實(shí)現(xiàn)高精度控制的方案,。
傳統(tǒng)的“旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲杠”驅(qū)動(dòng)方式,，從電機(jī)主軸到工作臺(tái)之間存在許多中間環(huán)節(jié)，如聯(lián)軸器,、絲杠,、螺母、軸承等,。這些中間環(huán)節(jié),，不僅加大系統(tǒng)的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量，影響系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)特性，而且會(huì)產(chǎn)生摩擦,、彈性變形,、滯后和非 線性誤差，影響加工精度,。
直線驅(qū)動(dòng)元件能夠?qū)崿F(xiàn)“直接驅(qū)動(dòng)零傳動(dòng)”更適合應(yīng)用于超精密定位系統(tǒng),。直線驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)消除了動(dòng)力源和工作臺(tái)之間的所有中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)。目前應(yīng)用的超精密直線精密驅(qū)動(dòng)元件主要有：直線電機(jī),、音圈電機(jī),、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和超聲波電機(jī)。其中直線電機(jī)和音圈電機(jī)都是 通過電磁原理將電力轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動(dòng),；壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器則是 利用原料的物理特性,，實(shí)現(xiàn)直線推力輸出；超聲波電機(jī)利用壓電陶瓷條的高頻振動(dòng)特性,，利用干摩擦將微小振幅轉(zhuǎn)化為連續(xù)輸出,，可以提供無行程-的的連續(xù)直線位移輸出，前2者的運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)力遠(yuǎn)大于后2種 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器,。
從驅(qū)動(dòng)技術(shù)的研究和應(yīng)用程度來看,，直線電機(jī)和壓電陶瓷的運(yùn)動(dòng)學(xué)分析、控制技術(shù)都比較成熟,，應(yīng)用于超精密機(jī)床或者定位平臺(tái)的研究也較深入,，國內(nèi)外許多家企業(yè)都有相關(guān)的產(chǎn)品出售，并達(dá)到較高精度,。超聲波電機(jī)在國內(nèi)尚處于起步研究階段,，但在國外已經(jīng)出現(xiàn)產(chǎn)品，并逐漸應(yīng)用于大行程高精度系統(tǒng)之中,。因?yàn)橐揽磕Σ亮︱?qū)動(dòng),，系統(tǒng)動(dòng)態(tài)因素復(fù)雜，能夠?qū)崿F(xiàn)其長時(shí)間穩(wěn)定輸出控制的方案尚在研究中,。
綜合以上的3個(gè)方面來看,，采用直線電機(jī)和壓電陶瓷的直線驅(qū)動(dòng)方案，技術(shù)相對成熟,，可以盡量簡化開發(fā)過程。目前國內(nèi)外許多大行程超精密的定位系統(tǒng)都是 采用這2種 驅(qū)動(dòng)方式協(xié)同合作而實(shí)現(xiàn)的,。但隨著研究的深入,，技術(shù)的革新，音圈電機(jī)和超聲波電機(jī)擁有更好的應(yīng)用前景,。
鑄鐵平板日常養(yǎng)護(hù)
1,、為了防止 鑄鐵平板發(fā)生的變形，在吊裝鑄鐵平板時(shí),，要用四根同樣長度的鋼絲繩同時(shí)掛住鑄鐵平板上得四個(gè)起重孔,，將鑄鐵平板平穩(wěn)吊裝在運(yùn)輸工具上,。
2、將鑄鐵平板支承點(diǎn)墊好,、墊平,，保證每個(gè)支撐點(diǎn)受力均勻，保證整個(gè)鑄鐵平板平穩(wěn),。
3,、鑄鐵平板安裝時(shí)將鑄鐵平板的各個(gè)支撐點(diǎn)用調(diào)整墊鐵墊好、墊實(shí),，由專業(yè)技術(shù)人員將鑄鐵平板調(diào)整至合格精度,。
4、鑄鐵平板使用時(shí)要輕拿輕放工件,，不要在鑄鐵平板上挪動(dòng)比較粗糙的工件,，以免對鑄鐵平板工作面造成磕碰、劃傷等損壞,。
5,、為了防止鑄鐵平板整體變形，使用完畢后,，要將工件從鑄鐵平板上拿下來,，避免工件長時(shí)間對鑄鐵平板重壓造成鑄鐵平板的變形。
6,、鑄鐵平板不用時(shí)要及時(shí)將工作面洗凈,，然后涂上一層防銹油，并用防銹紙蓋上,，用鑄鐵平板的外包裝將鑄鐵平板蓋好,，以防止平時(shí)不注意造成對鑄鐵平板工作面的損傷。
7,、鑄鐵平板應(yīng)安裝在通風(fēng),、干燥的環(huán)境中，并遠(yuǎn)離熱源,、有腐蝕的氣體,、有腐蝕的液體。
8,、鑄鐵平板按標(biāo)準(zhǔn)實(shí)行定期周檢,，檢定周期根據(jù)具體情況可為6-12個(gè)月。包裝：鐵板包裝和木制包裝兩種 形式,，平臺(tái)表表用塑料膜封裝,，這種 包裝適于平板內(nèi)陸運(yùn)輸，并有良好的防潮、防震,、防銹和防野蠻裝卸等保護(hù)平板的措施,，以確保運(yùn)抵現(xiàn)場。
泊頭市精固誠量具機(jī)械有限公司（原泊頭市精固誠量具機(jī)械廠）(http://www.8225588.com)是 鑄造,、機(jī)械加工,、大型機(jī)床配套的專業(yè)公司。公司主要經(jīng)營產(chǎn)品有： 花崗石平板,、 鉗工平板,、 檢驗(yàn)平板、 劃線平板,。自90年開始我廠在非 標(biāo)產(chǎn)品和平板量具的生產(chǎn)制造過程中和全國很多大型企業(yè)進(jìn)行業(yè)務(wù)合作,。
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